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MX系列
半导体/FPD检查显微镜
MX系列半导体\FPD检查显微镜最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验,广泛应用于晶圆、FPD 等各项工业检测。
为用户提供高效的半导体 \FPD光学检测解决方案
人体工程学,提供最高的工作效率
模块化部件,自由组合,配置更灵活
丰富的观察方式,满足您的检测需求
卓越的光学系统
采用全新的光学系统,使得照明更加均匀、成像更加清晰。
仰角可调观察筒
仰角0°~35°可调观察筒,能满足不同身高人群观察,大大减轻了长时间工作带来的疲劳感。
多种转盘适用多种尺寸晶圆检查
可承载4寸、6寸、8寸、12寸等不同工作平台,为晶圆、液晶面板检测提供最佳的工作环境,最大支持300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查。
离合驱动式载物台
全新离合驱动式载物台,能快速灵活的移动平台,提高检测效率。
精密光学电动部件
安全、高速的电动式物镜转换器,可快速实现物镜切换,避免操作部位与晶圆触碰。电动孔径光阑与物镜连锁,自动适应不同倍率的物镜,优化成像质量。
人机工程学设计
低重心、高稳定性全金属机架,具备强效的防抖功能,确保像质稳定。
应用领域
集成了明场、暗场、偏光、DIC等多种观察功能。广泛应用于半导体、FPD、电路封装电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。