MS系列
测量显微镜
MS结合了金相显微镜的高倍观察能力，和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。
实现超大行程高精度测量
一体式设计
大行程载物台
辅助对焦
精密测量
卓越的光学技术
MS系列测量显微镜采用优异的无限远光学系统，搭配长工作距金相物镜，配合六孔电动转换器 ，在满足大视野观测、大工作距测量需求的同时，还提供了高倍率和高精度的保障。无论是测量大型部件还是精细元件，或是表面高度差异大的样品，MS系列都能为用户提供最佳的解决方案。
独立裂项光源辅助对焦
独立裂像光源辅助对焦独立的裂像光源控制器，可根据样品不同背景进行光源亮度调节，清晰准确显示最佳焦面。有两种裂像图案可供选择，并随意切换。
精密测量工具保证结果的准确性
MS 测量显微镜采用0.1um读数的3轴测量系统，Z 轴最大行程可至150mm，利用集成在机架上的高精度电动控制器控制 Z 轴。三档不同调速可供选择，调焦可操作性强，提高效率，降低疲劳。
自主研发测量软件
MS 系列测量显微镜配备了操作简单，功能强大的测量软件，客户可根据需要设置测试偏好。配合电动转换器，倍率自动识别，减少客户手动倍率选择错误。即使对复杂的形状，也可以进行高精度的测量。
应用实例
左上：IC先进封装bumping对位精度测量
右上：IC先进封装bumping尺寸测量
左下：液晶面板TFT测量
右下：PCB版焊脚测量
