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IRX60:工业精密检测领域的3D超景深显微技术新突破

发布时间:发布时间:2025 - 11 - 20

在工业制造向高精度、智能化转型的过程中,电子电路的微焊点检测、半导体芯片的三维形貌分析、新能源电池极片的缺陷筛查等微观检测需求日益严苛。传统2D显微镜受限于景深不足、手动操作误差大、数据分析滞后等问题,已难以满足现代工业对亚微米级测量精度和自动化检测流程的要求。

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宁波舜宇仪器有限公司自主研发的DMS系列3D超景深显微镜,以IRX60技术平台为核心驱动力,通过“光学系统革新+智能算法融合+自动化控制集成”的全链路解决方案,重新定义了工业精密检测的标准,为电子电路、半导体、电池制造等关键领域提供了从微观观察到量化分析的一体化支撑。

IRX60技术平台是DMS系列3D超景深显微镜的核心竞争力所在,其通过四大技术创新实现了对传统显微镜的全面超越。超高分辨率成像系统搭载1200万像素4K彩色摄像单元,配合自主研发的远心复消色差APO物镜,有效消除透视误差,实现20X-7500X倍率下的无畸变成像——在半导体芯片检测中,可清晰观测到5μm以下的金线键合细节,边缘识别精度达0.1μm。智能照明与观测模式提供环形照明、同轴照明、透射照明等8种组合方案,结合IRX60特有的反射变换算法,可一键去除金属表面反光,凸显锂电池极片涂层的针孔缺陷、切削刀具刃口的微观磨损等细微结构。

在自动化控制方面,IRX60技术通过4孔电动物镜转轮与高精度XY电动载物台实现全流程电动化操作,载物台移动速度达40mm/s,配合高速自动对焦模块,将传统手动操作的效率提升300%。28英寸4K智能一体机集成i7处理器与64G内存,支持一键最佳成像参数匹配,操作人员通过控制器即可完成“定位-调焦-测量-报告”全流程,大幅降低人为误差。

三维测量与分析能力是IRX60技术的另一大亮点:基于景深合成算法,系统可对样品表面进行层切扫描并拟合三维模型,实现高度差、体积、粗糙度等参数的量化分析;内置的跨视野测量功能支持不拼接状态下的三轴尺寸计算,配合颗粒计数、清洁度分析等模块,满足新能源电池极片厚度检测、半导体晶圆缺陷统计、电子元件焊锡质量评估等多样化需求。

在半导体领域,IRX60技术驱动的DMS系列显微镜通过7500X高倍率成像,可清晰观测焊球的共面性、金线键合的弧度与直径,3D图像拼接功能支持对8英寸晶圆表面进行全域扫描,快速定位划痕、凹陷等缺陷,检测效率较传统设备提升5倍以上。

在新能源电池行业,系统针对锂电池极片涂层厚度不均问题,实现非接触式3D厚度测量,并通过粗糙度分析模块评估涂层均匀性;在电芯焊接检测中,自动识别焊痕边缘,量化焊瘤高度与宽度,有效降低热失控风险。精密制造与刀具检测场景中,IRX60技术的倾斜观察功能可直观呈现刀具前刀面的磨损沟槽,结合轮廓测量工具自动计算刃口半径、后角角度等参数,助力刀具寿命预测与工艺优化。

对于电子电路与PCB行业,设备通过环形照明+同轴照明切换抑制焊锡反光,凸显桥连、虚焊等缺陷,智能计数功能自动统计引脚数量与间距,确保符合IPC-A-610标准,为高密度PCB板的质量管控提供高效解决方案。

DMS系列3D超景深显微镜的核心技术规格,为工业检测提供了坚实保障:放大倍率覆盖20X-7500X(自动变焦,无需更换镜头),成像分辨率达4000×3000(30fps),载物台最大行程330×330mm(电动款),平面测量精度±1μm,3D高度测量精度±0.1μm。这些参数通过IRX60技术的整合,转化为实际生产中的效率提升。

作为中国精密光学领域的领军企业,宁波舜宇仪器有限公司深耕显微成像技术20余年,DMS系列3D超景深显微镜正是其技术实力的集中体现。依托IRX60技术平台,舜宇仪器已为全球5000余家企业提供微观检测解决方案,未来还将通过AI缺陷识别、云端数据管理等功能拓展,为制造业高质量发展注入微观层面的精准动力。


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